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气体质量流量计/控制器
产品简介

MFC330系列气体质量流量计/控制器,测量与调节流量的闭环结构,即使环境温度变化或进出气压波动, MFC330依然能够保持稳定的流量控制。

产品型号:MFC330系列
更新时间:2026-06-10
厂商性质:生产厂家
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MFC330系列气体质量流量计/控制器,其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统被测气体进入后,先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构,即使环境温度变化或进出气压波动, MFC330依然能够保持稳定的流量控制。


产品特点:

精度:1 % F.S.

控制范围:1%~100% F.S.

工作压差范围:0-1 MPa

量程:2 sccm-200 slm

集成显示器可选

经济有效的解决方案

流量范围:

最小值 0-2 sccm ; 最大值: 0-200 slpm


气体质量流量计/控制器

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