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气体质量流量计/控制器
产品简介

MFC300系列气体质量流量计/控制器，该系列采用MEMS流量传感器，自带温度和压力补偿。具有响应速度快，宽量程比、压损小、体积小巧安装方式灵活的特点。

产品型号：MFC300系列
更新时间：2026-06-10
厂商性质：生产厂家
访问量：5
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MFC300系列气体质量流量计/控制器，该系列采用MEMS流量传感器，自带温度和压力补偿。具有响应速度快，宽量程比、压损小、体积小巧安装方式灵活的特点。


MFC300系列气体质量流量计/控制器特点：

精度：0.5 % F.S.

控制范围：0.2%~100% F.S.

工作压差范围：0-1 MPa

5ms测量响应，300ms控制响应

量程：5 sccm-5 slm

无需预热，体积小巧

流量范围:

最小值 0-5 sccm ; 最大值: 0-5 slpm

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