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层流差压式气体质量流量计/控制器
产品简介

MFC600系列层流差压式气体质量流量计/控制器，通讯方式：模拟量、RS485, RS232, CANOPEN, DeviceNet, Profibus, EtherCat。

产品型号：MFC600系列
更新时间：2026-06-10
厂商性质：生产厂家
访问量：22
产品咨询 18168878188

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600 系列层流差压式气体质量流量计/控制器，其结构包含层流差压式流量传感器、高精度比例阀和控制系统。内置压力和温度补偿系统，核心算法，动态调控高精度比例阀以自动控制气体流量，提供更加精准和稳定的气体流量测量和控制。


产品特点：. 精度：0.2 % F.S

控制范围：1%~100% F.S. 5ms测量响应，100ms控制响应

130+种气体适用，灵活切换、配气

同时测量标况流量和工况流量

通讯方式：模拟量、RS485, RS232, CANOPEN, DeviceNet, Profibus, EtherCat

流量范围: 最小值 0-1 sccm ; 最大值: 0-200 slpm


层流差压式气体质量流量计/控制器



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