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气体质量流量计/控制器
产品简介

MFC320系列气体质量流量计/控制器，通讯方式：模拟量，RS485, RS232, CAN, DeviceNet, Profibus, EtherCat。

产品型号：MFC320系列
更新时间：2026-06-10
厂商性质：生产厂家
访问量：18
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MFC320系列气体质量流量计/控制器产品特点：

精度：0.5 % F.S. 

控制范围：1~100% F.S. 

工作压差范围：0-1 MPa

5ms测量响应，300ms控制响应

抗腐蚀型可选

通讯方式：模拟量，RS485, RS232, CAN, DeviceNet, Profibus, EtherCat


流量范围:

最小值 0-2 sccm ; 最大值: 0-200 slpm

气体质量流量计/控制器


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