平替KOFLOC流量计 是毛细管热式气体质量流量计，精度高0.5%，响应快速，稳定性好。

苏州爱拓利坐落于长三角经济圈核心腹地、苏州吴江半导体产业集聚核心区位，地处吴江区柳胥路 99 号半导体智能制造创新港，紧邻苏州南站、毗邻上海虹桥综合交通枢纽、交通四通八达。

园区总建筑面积111764.05 平方米。企业深耕气体质量流量测控领域，致力打造科技创新策源地、新旧动能转换主力军、新质生产力发展企业，历经多年深耕积淀，产业规模与综合实力已蔚然成型。

同时作为国内MFC 气体质量流量计核心自研智造企业，立足长三角科创产业高地，深耕精密流量测控技术攻关，是行业突破卡脖子技术、实现半导体精密仪器国产替代的核心骨干力量。

气体种类： 90+种气体可选 

测量范围： 0.5%F.S. – 100% F.S. (1:200)

控制范围;： 1%F.S. – 100% F.S. (1:100) 

准确度： 0.5% F.S. 

工作压差： 0-1 MPa 

耐压： 3 MPa 

控制响应时间 <1 s 

阀门类型: 常闭阀 

预热时间： 5 min（T95) 

量程范围： 0-2 sccm…200slpm 

显示屏： 内置/外接显示屏可选

标况: 20℃（可设置）， 1atm 

通讯方式： 0-5Vdc, 4-20mA, RS485, RS232, CAN, EtherCat