微流量质量流量计是全新升级– 毛细管 热式气体质量流量计，精度高，快速响应，量程可达200slpm.

微流量质量流量计是全新升级– 毛细管 热式气体质量流量计，精度高，快速响应，量程可达200slpm.

爱拓利创立于2012年，是一家质量流量计和控制器专业研发制造商，专注于微小气体流量精准测控。 爱拓利拥有自主知识产权的质量流量计和控制器产品，其核心部件毛细管柱式流量传感器、层流差压式流 量传感器、高精度微型比例阀等已实现1 00%自主研制，核心生产设备1 00%自主研制、全制程自主可控。 公司具备ISO9001质量管理和制造认证，通过标准化生产、规范化管理，爱拓利持续稳定地为客户提供高质 量的合格产品；并根据客户应用场景提供定制化的产品和解决方案，满足多种需求。 

◆产品系列： 热式气体质量流量计/控制器，层流差压式气体质量流量计/控制器

◆产品应用领域 半导体，光伏，光纤，FPD，真空镀膜，新能源电池，分析仪器，生物制药，制配气、化工、食品、工业自动 化等领域.

气体种类： 90+种气体可选 

测量范围： 0.5%F.S. – 100% F.S. (1:200) 

控制范围;： 1%F.S. – 100% F.S. (1:100) 

准确度： 0.5% F.S. 

工作压差： 0-1 MPa 

耐压： 3 MPa 

控制响应时间 <1 s 

阀门类型: 常闭阀 

预热时间： 5 min（T95) 

量程范围： 0-2 sccm…200slpm 

显示屏： 内置/外接显示屏可选 

标况: 20℃（可设置）， 1atm 

通讯方式： 0-5Vdc, 4-20mA, RS485, RS232, CAN, EtherCat